技术服务
光栅传感器的结构与工作原理(图文)
来源：未知 添加时间：2018-06-04 08:53:52 浏览次数：0次
光栅是由很多等节距的透光的缝隙或不透光的刻线均匀、相间排列而成的光电器件。
光栅式传感■器(optical grating transducer)指采用光栅叠栅条纹原理测量位移的传感器。光栅是在一块长条①形的光学玻璃上密集等间距平行的刻线，刻线♂密度为 10～100线/毫米。由光※栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应，因而能提高测量】精度。传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成(见图)。标尺光栅相对♀于指示光栅移动时，便形成大致按正弦规律分布的明暗相□间的叠栅条纹。这∮些条纹以光栅的相对运动速度移动，并直接照射到光电元件上，在它们的输出端得到一串电脉冲，通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出，直接显示被测的位移量。传感器的』光路形式有两种：一种是透射式光栅，它的栅▓线刻在透明材料(如工业用白玻璃、光学玻璃等▽)上;另一种是反射式光㊣栅，它的栅线刻在具有强反射的金属(不锈钢)或玻璃镀◥金属膜(铝膜)上。这种传感器的优点是量程大和精度高。光栅式↑传感器应用在程控、数控机床和三坐标测量机构中，可测量静、动态的直线位移和整圆角位移。在机械振动测◥量、变形测量等领域也有应用。
光栅的分◆类
光栅传感器的结构
